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IC词汇
【光刻】超大规模集成电路先进光刻理论与应用
【光刻百科】空间像（Aerial Image）
【光刻百科】集成掩模检测系统 Integrated Reticle Inspection System（IRIS）
【刻蚀】刻蚀选择比
【刻蚀】刻蚀剖面 Etch Cross-section
【刻蚀】负载效应 Loading Effect
【光刻】边缘粗糙度 Line Edge Roughness (LER)
【光刻】光强对数斜率 Image Log Slope (ILS)
【光刻】嵌段共聚物分相 Block Copolymer Phase
天线效应
化学机械抛光（CMP）
外加场（电场和磁场）诱导自组装 External Field （Electric and Magnetic Fields）Induced Self-Assembly
【光刻】潜像（Lateral image）
visibility effect
设计规则检查 Design Rule Check, DRC
电路规则检查 Layout versus schematic, LVS
门级网表 Gate-Level netlist
晶圆良率 Wafer Yield
“食人鱼”洗液 Piranha Solution
X射线小角散射 small-angle x-ray scattering
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