【litho】设计-工艺联合优化（DTCO）——《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》

编者按：中国科学院大学微电子学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院。为了提高学生对先进光刻技术的理解，微电子学院开设了《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》研讨课。在授课过程中，除教师系统地讲授外，学生还就感兴趣的课题做深入调研。师生共同讨论调研报告，实现教学互动。调研的内容涉及光刻工艺、光刻成像理论、SMO、OPC和DTCO技术。