潜像是掩模版上的图像通过光学系统形成的光强分布被传递到光刻胶中引起的光致反应产生的活性物质的分布图像。
参考文献：
[1]韦亚一，超大规模集成电路先进光刻理论与应用，科学出版社，2016，552-552