【光刻百科】空间像（Aerial Image）

空间像是光线从光源发出通过投影系统在光刻胶上所形成光强分布的图像。使用仿真软件可以计算出不同极化照明下的空间像(aerial image)。图 1是一个仿真计算的结果。高分辨的掩模版(如用于 NA>1.0 的 193i 曝光的掩模)制备完成后，必须做缺陷检查。有些缺陷对掩模曝光性能的影响很难直观地判断，必须借助于空间像测量系统(aerial image measurement system，AIMS)。 AIMS 可以把掩模缺陷区域的像投影在 CCD 相机上，使得工程师能直观地看到缺陷对成像的影响。空间像显微镜的结构如图 2所示。

图1 空间像

图2 掩模空间像显微镜(AIMS)结构示意图

参考文献：

[1]韦亚一，超大规模集成电路先进光刻理论与应用，科学出版社，2016，98-98，272-273

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