【光刻】扇形照明（Quasar）

　　扇形照明（Quasar）是离轴照明的一种，如图所示。

图1 Quasar-45º

　　对于一台确定波长和型号的光刻机，其分辨率还与光照条件的设置有关。图 2是不同光照条件下， NILS 随图形周期变化的曲线。掩模图形是1:1的密集线条。对应掩模版上相同的图形，使用常规照明(conventional)、环形照明(annular)、 Quasar 照明所得到的空间图形的对比度是不一样的。曝光时，应该根据图形的尺寸选取最佳的光照条件。

图2 不同光照条件下， NILS 随图形周期变化的曲线

参考文献：

[1]韦亚一，超大规模集成电路先进光刻理论与应用，科学出版社，2016，176-177，499-499